微焦點CT-半導體元器件X射線顯微成像系統是一種基于X射線的成像技術,使用微型計算機斷層掃描技術(Micro Computed Tomography)。包括掃描和重構兩個主要部分,Micro/Nano 表明其分辨率可達到微米/亞微米級別。
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